黃金價格-MEMS微型減速電機一氧化碳傳感器

佛羅里達州克利爾沃特 -記載象徵著被衝破;冠軍被廢。了。在講演了所謂的“世界上最小的直流無刷電機”(見DN5-5-97)之后的短短幾個月,隨之而來的是更小的電機。該無刷直流電機直徑僅為1.9 mm,長5.5 mm,供應0.5 V直流標稱電壓,空載電流為73 mA。空載轉速的額外轉速為150,000 rpm,掉速轉矩為7μNm。微電機由德國Schonaich的姐妹公司Faulhaber GmbH以及其研究互助伙伴IMM(德國Mainz-Hechtsheim)互助開發,微電機采用非凡制造的軸承,稀土磁系統統,專有潤滑劑。

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由LIGA手藝臨盆的行星齒輪箱依據所選比率(3.6:1至47:1)僅增長2-4 mm的電機長度。基于深X射線光刻以及電鍍,LIGA許可模制的微距齒輪具備特別很是高的縱橫比。
“基于比較半導體的外觀以及體積加工手藝,”Micro Mo高等研究與規劃副總裁Stephen O’Neil說,“更得當于低縱橫比,低輸入功率或者承重的二維器件本領“。
減速機編號:最大輸入扭矩高達300μN間歇性以及150μNm延續;依據比例,效率從50%到80%。方針以及beta測試運用:醫療診斷,醫治以及手術裝備;細胞生物學研究對象;化學闡發儀器;微記載以及數據存儲裝備;偵探以及寧靜裝備;以及泵/調配體系。
疾速打印頭
瑞士納沙泰爾 -高密度微電磁鐵陣列組成了每分鐘700頁的磁性印刷機的根基。它們不僅提高了打印速率,並且這些硅磁體陣列的分辨率提高到每英寸480點(dpi) – 是由零丁制造的電磁鐵制成的傳統磁體陣列的兩倍。

由CSEM SA(Center Suisse d’Electronique et de Microtechnique SA)開發,每個電磁鐵由環抱磁路的扁平多匝線圈構成。磁路寫入極以及大的低磁阻違板造成電路。寫入極集中并指導由線圈發生的磁通量,而違板供應磁通返歸路徑。由于每個芯片的器件數目太高而沒法零丁尋址每個電感線圈,是以片上集成二極管矩陣依次尋址線圈。
批量制造下降了本錢。從硅襯底最先:1)規範微電子工藝構建尋址電子器件;2)微電化學沉積展設金線圈;3)硅塊體微機器加工,然后電沉積FeNi違板以及寫入極,造成磁路。
高速打印頭子前正在法國貝爾福的Nipson Printing Systems的CSEM SA臨盆。
管內微檢機
日本愛知- 由DENSO研究試驗室開發的這類微型“管道履帶”包含渦撒播感器,多層履行器,反質量以及三個夾具。元件位于厚度為60英寸,厚度為0.084克的外殼中。外殼佈局采用與集成電路制造雷同的工藝:嚴密加工,電鍍以及蝕刻。
每個致動器層包含壓電元件以及彈性板,布置成雙金屬。由於壓電元件的殼體積是恒定的,以是壓電元件在施加電壓的偏向上膨脹,但在垂直偏向上緊縮。這使彈性板曲折,縮小位移。層數決定了履行器的力。
致動器膨脹/緊縮使反省機械在管道外向前以及向后挪移。在膨脹進程中,夾具以及管子之間的靜磨擦力跨越了反質量的慣性力;慣性力戰勝緊縮進程中的靜磨擦力。
微型檢測性能夠檢測寬度約為10毫米的縫隙,可在空氣以及液體中運轉。
扭轉微鏡
達拉斯,德克薩斯州 -視頻目前尾隨音頻的腳步,經由過程數字化以便于存儲以及傳輸。數字光處置(DLP)支撐數字視頻格局的數字顯示,從而打消了數字到摹擬處置步調。它的事情道理是將一束光詮釋為一種彩色摹擬圖像。
數字微鏡器件(DMD)使用電旌旗燈號挪移16微米的方形
鋁鏡以反射光。DMD陣列可以發生玄色或者白色或者帶有
濾光片,顏色顯示作為數字光處置體系的一部門。
DLP的樞紐是來自德州儀器的MEMS器件,稱為DMD(數字微鏡器件)燈開關。每個DMD具備一個16微米米見方的鋁鏡,其可以在兩個偏向中的一個反射光,取決于上面的CMOS SRAM存儲器單位的狀況。當存儲器單位處于(1)狀況時,鏡子扭轉到+10度;當單位格處于(0)狀況時,鏡子扭轉到-10度。
鏡子剛性毗鄰到上面的軛。軛經由過程兩個機器柔性旋轉搭鈕毗鄰到附接到基板的支持柱。鏡子以及軛的尋址電極毗鄰到存儲器單位的互補側。
在存儲器單位以及軛以及鏡子之間發生靜電場,發生靜電轉矩。該扭矩抵禦搭鈕的規复扭矩以扭轉鏡子。鏡子以及軛架扭轉,直到軛架抵靠與軛架處于雷同電位的機器止動件。
經由過程將DMD與光源以及投影光學器件組合,鏡子將光反射到投影透鏡的光瞳中或者從投影透鏡的光瞳中反射進去。是以,(1)狀況望起來很亮,而(0)狀況望起來很暗。入射光的二進制脈沖寬度調制致使灰度暗影。固定或者扭轉濾色器與一個,兩個或者三個DMD芯片組合發生顏色。
亞利桑那州鳳凰城 -使用基于硅的手藝檢測氣體具備很多優點:傳感器比傳統裝備小,機能穩固,裝備本錢更低。
硅微機器一氧化碳傳感器目前可從摩托羅拉取得。運用包含家庭火災,煙霧以及氣體警報;工業監測以及維護體系;以及汽車排放以及傳感。
摩托羅拉使用批量以及外觀微加工手藝制造傳感器,這些手藝取得瑞士Microsens SA批準,Bulk micromachining觸及單晶硅蝕刻。以這類方式開發的微機器佈局由硅晶體或者硅上沉積或者發展的層制成。外觀微機器加工觸及在基板頂部沉積或者發展層以構建微機器安裝。
氧化錫薄膜可感知一氧化碳的濃度。加暖器位于薄膜下方,嵌入氧化硅層中。整個佈局基于硅體積微機器加工到2毫米。該下層下降了將佈局加暖到100至450℃事情溫度所需的暖質量以及功率。
摩托羅拉企圖為不同的氣體供應一系列化學傳感器。行將推出:甲烷傳感器以及丈量硫化氫的傳感器。
血壓傳感器
加利福尼亞州米爾皮塔斯- 醫療行業中MEMS產物的最大量量運用是丈量病院重癥監護病房中的患者血壓。
一種如許的傳感器是來自EG&G IC傳感器的Model 1620一次性血壓傳感器。如下是它的事情道理:來自鹽水袋的液體經由過程管道進入MEMS傳感器包裝,然后進入患者的手臂。留神臟跳動時,壓力波在流體路徑上向上挪移并由傳感器檢測,傳感器將信息發送到監督器。